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Laborausrüstungspaket

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Spezifikationen zum Los
Menge
1
Differenzbesteuerung
Nein
Beschreibung
Turbomolekulare Vakuumpumpe und Controller nicht vorhanden!

2× Leybold-Staubsauger CTR 90 CERAVAC
PFEIFFER IKR 251 kompakte Kaltkathodenanzeige
VAT 26432-KA41-0001/0319 Vakuumwinkelventil
Zusätzliches großes Mehrwert-Vakuumventil
Große Hochvakuumventilbaugruppe

Gashandhabung, Aktuierung und Prozesshardware
Betätigungssystem THC-8AWDS linearer Antrieb (400 mm Hub)
Verschiedene Sensoren, darunter Druck-, Temperatur- und Schaltsensoren
Verschiedene Aktuatoren, darunter Magnetventile und Heizelemente
, CVD-Rahmen (ursprünglicher SP-500, nachgerüstet 2011)
Massenflusssteuerungsschrank (enthalten)

Sicherheit und Prozessschutz

RF & Leistungsbereitstellung
RF DRESSLER – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
RFPP RF10S-Einheit
Advanced Energy MDX 500 (nicht funktionsfähig – lässt sich nicht einschalten)
HF-Leistung AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
TDK Lambda Netzteil GEN40-125

Steuereinheit & Elektronik

MKS Typ 252C-1-VPO Auspuffventilregler
MKS Typ 152 automatischer Druckregler
MKS Typ 600 automatischer Druckregler
MKS Typ 2708
19" Rack-PC (kein Passwort für die Steuersoftware)
Weitere Details
Die für jede Charge angegebenen Maße und Gewichte werden als Leitfaden angegeben und entsprechen dem aktuellen Zustand der Ausrüstung. Bestimmte Demontage-, Handhabungs- oder Verpackungsoperationen können diese Daten verändern und die Transportmethoden beeinflussen. Es liegt in der Verantwortung des Käufers, die erforderlichen Spezifikationen vor jeglichen Transport- oder Abholungsvereinbarungen zu überprüfen. Abholungen erfolgen nur nach vollständiger Zahlung der Rechnung und nach vorheriger Vereinbarung. Je nach Charge können Ladehilfen oder spezifische Handhabungsbedingungen angewendet werden.
Unterlagen