Línea de deposición al vacío Sidrabe PECVD roll-to-roll 2009

Tipo D1340, línea de deposición superior roll-to-roll, compuesta entre otros: (planta baja) 11x generador RF "Trumpf" TruPlasma serie RF tipo 3000 G2 (2022), 5x combinación "Edwards" vacuüm - booster Drystar vacuümpump tipo GV250 -" tipo EH2600IND Booster 380 (2008), 2x combinación "Druschke" vacuüm - booster tipo vacuümpump tipo A70561900 - booster "Druschke" tipo A307-51-935, 4x unidad de control de alta temperatura "Single" tipo STO 1-9-42, sistema de refrigeración con 2 bombas tipo "Grundfos" DE7309BE, luz UV, recipiente a presión, intercambiador de calor de placa "Alfa laval", panel lateral retráctil de 1x. En la primera planta, consta de: 7 colectores de agua, 10 armarios eléctricos de 2 puertas, 1 armario de interruptores eléctricos de 1 puerta, 2 boosters tipo "Edwards" EH4200 IND, varios equipos de medición. En la segunda planta, que consta de: 1 armario de válvulas de presión, 4 unidades de control de alta temperatura "Single" tipo STO-1-48-100-D4 (2008), 4 muebles de vacío con colector de válvulas de 1 puerta, 1 armario de interruptores eléctricos de 1 puerta, tubería combinada y estructura de acero con plataformas y escalera, espacio utilizado aproximadamente 20.000x13.500 mm.