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PLASSYS - 2006 - CVD500 - Equipos de producción de semiconductores
- Puja actual
- Estado
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Especificaciones del lote
- Cantidad
- 1
- Margen
- No
- Marca
- PLASSYS
- Tipo
- CVD500
- Año de construcción
- 2006
- Condiciones de entrega
- Ex fundación-sin empaquetar
Descripción
El equipo incluye un sistema completo de vacío/CVD con su electrónica de control, componentes de vacío, bombas de alto vacío, fuentes de alimentación RF, actuadores y sensores. El chasis, fabricado originalmente en 1998, fue sometido a una importante mejora en 2011 con componentes más nuevos.
El sistema se vende tal cual, para piezas o para reparación. El sistema no estaba completamente conectado y no tenía contraseña, lo que impide más pruebas.
El sistema consta de los siguientes componentes principales:
Componentes de vacío y bombeo
Turbobomba ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2 aspiradoras Leybold CTR 90 CERAVAC
Calibre compacto de cátodo frío PFEIFFER IKR 251 Válvula de ángulo de vacío TVA 26432-KA41-0001/0319
Válvula de vacío adicional de IVA de gran tamaño
Gran conjunto de
válvulas de alto vacío Sistema de actuación: Actuador lineal THC-8AWDS (carrera de 400mm)
Diversos sensores, incluyendo presión, temperatura y conmutación
Varios actuadores, incluyendo válvulas solenoides y elementos calefactores
Marco CVD (SP-500 original, modificado en 2011)
Armario de control de flujo másico (incluido)
Potencia y
potencia RF Amplificador RF Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
Unidad RFPP RF10S
Advanced Energy MDX 500 (No funcional – No se enciende)
Potencia RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
Fuente de alimentación TDK Lambda GEN40-125 Unidad de control y electrónica
CONTROLADOR ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
Controlador de válvula de escape MKS Tipo 252C-1-VPO
Controlador automático de presión MKS Tipo 152
Controlador automático de presión MKS Tipo 600
MKS Tipo 2708
PC de montaje en rack de 19" (sin contraseña para software de control) El paletizado y carga los realizará el comprador en el lugar
El sistema consta de los siguientes componentes principales:
Componentes de vacío y bombeo
Turbobomba ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2 aspiradoras Leybold CTR 90 CERAVAC
Calibre compacto de cátodo frío PFEIFFER IKR 251 Válvula de ángulo de vacío TVA 26432-KA41-0001/0319
Válvula de vacío adicional de IVA de gran tamaño
Gran conjunto de
válvulas de alto vacío Sistema de actuación: Actuador lineal THC-8AWDS (carrera de 400mm)
Diversos sensores, incluyendo presión, temperatura y conmutación
Varios actuadores, incluyendo válvulas solenoides y elementos calefactores
Marco CVD (SP-500 original, modificado en 2011)
Armario de control de flujo másico (incluido)
Potencia y
potencia RF Amplificador RF Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
Unidad RFPP RF10S
Advanced Energy MDX 500 (No funcional – No se enciende)
Potencia RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
Fuente de alimentación TDK Lambda GEN40-125 Unidad de control y electrónica
CONTROLADOR ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
Controlador de válvula de escape MKS Tipo 252C-1-VPO
Controlador automático de presión MKS Tipo 152
Controlador automático de presión MKS Tipo 600
MKS Tipo 2708
PC de montaje en rack de 19" (sin contraseña para software de control) El paletizado y carga los realizará el comprador en el lugar
Detalles adicionales
Las dimensiones y pesos indicados para cada lote se proporcionan como guía y corresponden al estado actual del equipo.
Ciertas operaciones de desmantelamiento, manipulación o empaquetado pueden modificar estos datos e influir en los métodos de transporte.
Es responsabilidad del comprador comprobar las especificaciones necesarias antes de cualquier acuerdo de transporte o recogida.
Las recogidas solo se realizarán tras el pago completo de la factura y con cita previa.
Dependiendo del lote, puede aplicarse ayuda de carga o condiciones específicas de manipulación.
Para los lotes 1 y 2, las operaciones de desmontaje, empaquetado y paletizado son responsabilidad exclusiva del comprador.
