RTP ANNEALSYS - 2017 - AS-Micro - Horno

Configurado con bomba +
ordenador Características
El horno ofrece la mayor tasa de aumento de temperatura, hasta 250 °C/s para obleas de 2 pulgadas.
Rango de temperatura: temperatura ambiente hasta 1.250 °
C Tasa de aumento de temperatura de hasta 250 °C/s sobre un sustrato de silicio de 2 pulgadas de diámetro, 200 °C/s sobre 3 pulgadas.
Capacidad de mezcla de gases con controladores de flujo másico.
Rango de vacío: desde atmósfera hasta 10-2 Torr (10-6 Torr con turbobomba opcional).
Control de temperatura por termopar con controlador digital PID rápido.
Control completo del PC con software compatible con Windows.